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无间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究

Review by : TsingHua
浏览次数 : 6  词语: 300   出版日期: 一月 01, 2001
超精密机床伺服系统中 ,间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因。为消除间隙非线性的影响 ,本文提出了双回路的控制方法 ,有效地防止了系统中自持振荡的产生。将该方法应用于实际系统中 ,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差小于±2 0 nm的控制精度

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